Линия анодирования для чистых компонентов полупроводникового класса для высокочистых алюминиевых подложек

Эта полностью автоматическая линия анодирования серной кислотой чистого типа разработана исключительно для высокочистых алюминиевых полупроводниковых компонентов. Она производит однородную натуральную прозрачную оксидную пленку толщиной 8-15 мкм без загрязнения металлическими солями при окрашивании. Линия поддерживает горячее или среднетемпературное бесникелевое уплотнение для соответствия строгим требованиям полупроводниковой чистоты и газовыделения.

1. Обезжиривание (обезжиривание чистящими средствами с низким содержанием поверхностно-активных веществ)
2. Многоступенчатая промывка чистой водой
3. Мягкая обработка от налета
4. Анодирование высокочистой серной кислотой
5. Непрерывная каскадная промывка сверхчистой водой
6. Уплотнение: Горячее уплотнение / Среднетемпературное бесникелевое уплотнение
7. Финальная промывка чистой водой
8. Контролируемая низкотемпературная сушка

• Полностью автоматический режим работы обеспечивает постоянную толщину пленки в пределах 8-15 мкм в разных партиях
• Исключено окрашивание металлическими солями, что предотвращает ионное загрязнение, влияющее на производительность полупроводников
• Поддерживаются бесникелевые решения для уплотнения, соответствующие стандартам полупроводниковой промышленности по охране окружающей среды и газовыделению
• Оснащена высокоточной системой непрерывной фильтрации и подачи сверхчистой воды для поддержания чистоты ванны
• Строго контролируемые промывочные каскады минимизируют остатки кислоты и перенос посторонних частиц

• Группа ванн предварительной обработки
• Ванна анодирования высокочистой серной кислотой
• Многоступенчатая система промывки сверхчистой водой
• Ванна уплотнения (горячая вода / среднетемпературное бесникелевое уплотнение)
• Выпрямитель постоянного тока для анодирования
• Высокоточная система циркуляционной фильтрации
• Чистая низкотемпературная сушильная печь
• Установка для очистки отходящих газов и сточных вод
• Автоматический портальный кран с ПЛК и центральная система управления

Ионы металлов из красителей могут оставаться внутри оксидной пленки, вызывая миграцию ионов, загрязнение и риски надежности для полупроводниковых узлов. Применяется натуральное прозрачное анодирование.

Среднетемпературное бесникелевое уплотнение исключает остатки ионов никеля. Оно соответствует требованиям полупроводниковой промышленности к низкому газовыделению и отсутствию тяжелых металлов на поверхностях.

Основная конфигурация полностью автоматическая для массового производства; в качестве дополнительной опции для образцов может быть поставлен полуавтоматический / ручной чистый модуль.